『SUS440C製嵩上げ治具とは？ 半導体製造装置向けプレート・位置決めピン・特殊ボルト製作事例』
『SUS430からSUS440Cへの材質変更を提案。プレート・位置決めピン・特殊ボルトを一式製作し、半導体製造現場の課題を解決』
半導体製造装置向け『嵩上げ治具』製作事例
今回は、半導体関連企業様よりご依頼いただいた『嵩上げ治具』をご紹介します。
一見すると単純な治具ですが、実際には
・プレート
・位置決めピン
・特殊ボルト
の３種類で構成される組立治具です。
単品部品ではなく、『組み合わせた状態で機能する治具』として製作しました。
まずは製品仕様をご紹介します。
製品仕様
嵩上げ治具仕様
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 品名 | 嵩上げ治具（プレート、ピン、ボルト） |
| プレート形状 | φ１２０×Ｔ１０ |
| 材質 | SUS440C、SUS304 |
| 表面処理 | なし |
| 熱処理 | なし |
| 購入品類 | なし |
| 設計 | お客様 |
| 個数 | ３セット |
| 当社製造番号 | ２６－０１７６４ |
『嵩上げ治具』とは何か？
嵩上げ治具とは、製品やワークを一定高さまで持ち上げるための治具です。
製造現場では
・工具との干渉回避
・加工スペースの確保
・位置合わせ
・搬送高さの調整
など、さまざまな目的で使用されます。
今回も、半導体製造工程において製品を所定の高さへセットするために使用される専用治具です。
SUS430指定を『SUS440C』へ変更提案
今回、お客様図面では『SUS430』が指定されていました。
しかし、SUS430は一般的には板金部品などで使用されることが多く、当社では切削加工用材料として使用する機会はそれほど多くありません。
そこで技術的な観点からお客様と協議し、『SUS440C』をご提案しました。
SUS440Cは高硬度・高耐摩耗性を持つステンレス鋼で、
・耐摩耗性
・耐久性
・寸法安定性
に優れています。
用途や使用環境を考慮した結果、お客様にもご納得いただき、SUS440Cで製作することとなりました。
図面どおりに加工するだけではなく、『より適した材料をご提案する』ことも、当社技術営業の重要な役割です。
位置決めピンは『円筒度』『同軸度』も重要
位置決めピンは
・φ１４（Ｌ＝２．５）
・φ８ｈ７（Ｌ＝４）
の２段構造で、全長はＬ＝６．５です。
このピンは単なる接合ピンではなく、プレート上で製品位置を決定する重要部品です。
そのため、
・円筒度
・同軸度
についても約０．０２ｍｍレベルを意識して加工しています。
今回は
２個／セット × ３セット
合計６個を製作しました。
位置決めピンの精度は、そのまま治具全体の精度へ直結します。
市販ボルトが使えなければ製作する
今回、ボルトはSUS304製です。
当初はミスミ製の低頭ボルトを流用する予定でした。
市販品を利用できれば、
・短納期
・低コスト
というメリットがあります。
しかし今回は条件に合う製品が見つかりませんでした。
そこで当社で旋盤加工を行い、専用ボルトとして製作しました。
数量は
６本／セット × ３セット
合計１８本です。
当社では『すべて自社製作』にこだわるのではなく、市販品を活用できる場合は積極的に提案しています。
結果としてお客様のコストダウンにつながるからです。
今回は市販品が存在しなかったため、自社製作へ切り替えました。
部品単体ではなく『組立治具』として考える
今回の治具は
・プレート
・位置決めピン
・ボルト
この３種類を組み合わせて完成します。
それぞれ単体では単純な部品に見えても、
組み上がった際に
・高さ
・位置決め
・固定
が正しく成立しなければ意味がありません。
当社では各部品単体の精度だけでなく、『組立後に狙いどおりの性能が発揮できるか』まで考えて製作しています。
まとめ
今回の『嵩上げ治具』は、単純なプレート加工ではありません。
材質変更のご提案から始まり、
・プレート加工
・高精度位置決めピン
・特殊ボルト製作
まで一式対応しました。
また、市販品を活用できる部分は積極的に提案し、活用できない部分だけを製作するという考え方も、お客様から評価いただいています。
渡辺精密工業株式会社では、治具・測定具・専用工具だけでなく、このような半導体製造装置向け組立治具や専用部品の設計・製作にも対応しております。
『図面どおりではなく、もっと良い方法はないか』
そんなご相談もお気軽にお問い合わせください。
FAQ（よくある質問）
Q1. 嵩上げ治具とは何ですか？
A. 嵩上げ治具とは、ワークや製品を一定高さに保持するための専用治具です。加工スペースの確保や位置決め、組立性向上などを目的として使用されます。
Q2. SUS430とSUS440Cの違いは何ですか？
A. SUS430はフェライト系ステンレスで耐食性に優れます。一方、SUS440Cは高炭素マルテンサイト系ステンレスで、高硬度・高耐摩耗性が必要な精密部品や治具によく使用されます。
Q3. 位置決めピンの精度はなぜ重要なのですか？
A. 位置決めピンはワークの基準位置を決めるため、円筒度や同軸度が悪いと製品全体の位置精度や加工精度に影響します。そのため高精度加工が必要です。
Q4. 市販ボルトでは対応できない場合はどうなりますか？
A. 市販品で条件に合うボルトが存在しない場合は、用途や寸法に合わせて専用ボルトを製作できます。市販品を活用できる場合はコストダウンのため積極的に提案しています。
Q5. 半導体製造装置向けの治具や組立部品の製作は可能ですか？
A. はい。渡辺精密工業株式会社では、半導体製造装置向けの嵩上げ治具、位置決め治具、専用部品、精密加工部品、組立治具まで一貫対応しております。ニッチな用途や特殊仕様にも柔軟に対応いたします。
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当ホームページに掲載している課題解決事例は、お客様およびお取引先様の機密保持を最優先に考え、一部の内容を変更して掲載しております。
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